YC-IFP/F8半導體滅火裝置:守護高科技生產核心區(qū)域
上海翌燦智能科技有限公司
2025-06-09 10:10:33
在半導體制造這一高科技領域,工藝的精密性和復雜性令人矚目。而半導體工藝廢氣治理設備,作為確保生產環(huán)境安全與環(huán)保的重要環(huán)節(jié),卻時常面臨火災的潛在威脅。其滅火措施的有效性,直接關乎整個半導體生產制程的安危。






為應對這一挑戰(zhàn),半導體工藝廢氣治理設備配備了專門的滅火系統(tǒng)。這些滅火系統(tǒng)通常采用多種技術手段相結合的方式,以確保在火災發(fā)生時能夠迅速、有效地進行撲救。常見的滅火方法包括氣體滅火、干粉滅火和水噴霧滅火等。
氣體滅火系統(tǒng)在半導體工藝廢氣治理設備滅火中應用較為廣泛。它通常采用惰性氣體,如二氧化碳、氮氣等作為滅火劑。當火災發(fā)生時,這些氣體能夠迅速填充設備空間,降低氧氣濃度,從而抑制燃燒反應。




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