真空熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

真空熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

1.設(shè)備簡介
本設(shè)備是一款小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，也可整機(jī)放置于手套箱內(nèi)，對實驗室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國內(nèi)優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。
目前該設(shè)備配3組電阻蒸發(fā)源（可兼容金屬與有機(jī)蒸發(fā)），一臺2000W直流蒸發(fā)電源，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、有機(jī)薄膜等。
2.主要技術(shù)參數(shù)
2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；
2.2 樣品臺尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；
2.3 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥；
2.4 極限真空：8.0×10-5Pa；
2.5 真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 30min；
2.6 真空測量：全量程復(fù)合真空計，測量范圍：105Pa～10-5Pa；
2.7 蒸發(fā)源：3組電阻蒸發(fā)源，3組間可切換，源間有防污板；
2.8 蒸發(fā)電源：直流蒸發(fā)電源1臺，0 W～2000W連續(xù)可調(diào)，供3組蒸發(fā)源切換使用；
2.9膜厚控制系統(tǒng)：進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭，控制精度0.1?；
2.10控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能；
2.11設(shè)備外形：L53.5cm×W52cm×H75cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個KF40和一個CF35法蘭接口；
2.12 設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；
2.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷
部件提供穩(wěn)定的制冷水；
4.設(shè)備主要優(yōu)勢
4.1 實用性：
4.1.1 設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以放置于實驗桌面上即可；
4.1.2 通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)一機(jī)多用；
4.2 方便性：
4.2.1 設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性；
4.2.2 設(shè)備可將主機(jī)置于手套箱內(nèi)，水、電、氣等通過4個KF40接口接到手套箱外，與手套箱的對接靈活方便；
4.2.3 設(shè)備工作電壓為220V，整機(jī)功率小于2KW，對實驗室的供電要求低；
4.3 穩(wěn)定性：
4.3.1設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或國內(nèi)知名品牌，保證了設(shè)備的質(zhì)量及穩(wěn)定性；
4.4 先進(jìn)性：
4.4.1 獨立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)，具有智能控制模式和調(diào)試維修模式；
4.4.2 控制系統(tǒng)具備漏氣自檢與提示功能，當(dāng)設(shè)備漏氣時，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備漏氣，以便用戶進(jìn)行檢漏，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運行；
4.4.3 控制系統(tǒng)具備保養(yǎng)維護(hù)提示功能，當(dāng)設(shè)備運行達(dá)到一定時長，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備需要維護(hù)保養(yǎng)，以便用戶及時進(jìn)行維護(hù)，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運行；
4.4.4 控制系統(tǒng)具備通訊故障自檢功能，系統(tǒng)對分子泵、濺射電源、真空規(guī)、電機(jī)、流量計等部件的通訊進(jìn)行自檢，如果某個部件出現(xiàn)故障，可以按照系統(tǒng)中的各部件故障查詢辦法進(jìn)行查詢，及時確認(rèn)故障原因，保證設(shè)備安全；
4.4.5 控制系統(tǒng)具備數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出功能，控制系統(tǒng)記錄設(shè)備的操作記錄及鍍膜過程數(shù)據(jù)，可以在系統(tǒng)中查看這些數(shù)據(jù)，也可以用U盤導(dǎo)出這些數(shù)據(jù)；
4.4.6 該系統(tǒng)具備三個等級級密碼保護(hù)功能，不同等級不同使用權(quán)限，確保設(shè)備的安全性和數(shù)據(jù)的保密性；