美國(guó)AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修

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北京天浦正達(dá)AE直流電源維修中心可維修故障范圍包括:

無(wú)輸出,燒保險(xiǎn),開(kāi)不了機(jī),面板無(wú)顯示修,啟動(dòng)無(wú)輸出,輸出電壓不正常,帶不了負(fù)載,模塊壞等

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AE MDX系列直流電源操作

前面板：

AE MDX直流電源操作及接線(xiàn)說(shuō)明

1）指示燈

Output Power

a)Stop的指示燈亮?xí)r，表示電源已關(guān)閉

b)Start的指示燈亮?xí)r，表示電源已打開(kāi)Regulation

a)Power的指示燈亮?xí)r，表示電源處于功率模式，設(shè)定值是功率值

b)Current的指示燈亮?xí)r，表示電源處于電流模式，設(shè)定值是電流值

c)Power和Current的指示燈同時(shí)亮?xí)r，表示電源處于電壓模式，設(shè)定值是電壓值

d)Power和Current的指示燈同時(shí)閃時(shí)，表示電源處于未知模式Status

a)Arc指示燈亮?xí)r，表示腔室內(nèi)阻抗過(guò)低，輸出電流過(guò)電源規(guī)定的大值

b)Setpoint指示燈亮?xí)r，表示電源的輸出值已經(jīng)達(dá)到設(shè)定值

c)Remote指示燈亮?xí)r，表示電源的開(kāi)關(guān)或設(shè)置值處于遠(yuǎn)控模式

d)Output指示燈亮?xí)r，表示電源已經(jīng)打開(kāi)

e)Plama指示燈亮?xí)r，表示輸出電流大于10mA

f)Interlock指示燈亮?xí)r，表示互鎖已經(jīng)滿(mǎn)足，若不滿(mǎn)足，則該燈閃爍

Level鍵：用于設(shè)置電源參數(shù)

Display鍵：按改鍵可切換顯示功率、電壓或者電流

撥碼開(kāi)關(guān)

RAMP，0.1 Sec：開(kāi)關(guān)置下時(shí)，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時(shí)間為0.1秒

RAMP，1.0 Sec：開(kāi)關(guān)置下時(shí)，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時(shí)間為1.0秒

RAMP，10 Sec：開(kāi)關(guān)置下時(shí)，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時(shí)間為10秒C HOLD：開(kāi)關(guān)置下時(shí)，可縮短一次以后電源輸出值達(dá)到設(shè)定值的時(shí)間ON/OFF：開(kāi)關(guān)置上時(shí)，表示通過(guò)User Port來(lái)打開(kāi)或者關(guān)閉電源，置下時(shí)，表示通過(guò)前面板打開(kāi)或者關(guān)閉電源

AE電源維修常見(jiàn)型號(hào)系列：

AE電源維修，美國(guó)MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE電源維修，AE電鍍電源維修，AE射頻電源維修，電鍍高頻電源維修，刻蝕射頻電源維修，RE射頻電源維修，PECVD射頻電源維修，大功率工業(yè)電源維修，UPS電源維修等各行業(yè)工業(yè)用電源維修

射頻電源設(shè)備維修：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統(tǒng)

AE CESAR 1330 射頻電源維修 AE PEII-10K鍍膜電源維修 AE射頻電源RF-5S維修 AE射頻電源RFG3000維修