微小氣體流量計的技術(shù)優(yōu)勢及應(yīng)用發(fā)展

微小氣體流量計是一種常用的直接測量氣體質(zhì)量的流量儀表。它是一種新型流量儀表，無需溫度和壓力補償，即可輕松準(zhǔn)確地檢測管道中空氣、氮氣、氫氣、氧氣、天然氣、煙氣和其他氣體（乙炔氣除外）的質(zhì)量流量。它具有很高的靈敏度，非常適合于小流量、大直徑的現(xiàn)場測量。因此，它具有可靠性高、精度高、穩(wěn)定性強、重復(fù)性高、壓力損失小、結(jié)構(gòu)多樣可選、維護安裝方便等優(yōu)點。目前，它已廣泛應(yīng)用于各行業(yè)的現(xiàn)場氣體流量測量。

微小氣體流量計的技術(shù)特色：

1.微小氣體流量計沒有壓力損失或非常小的壓力損失，沒有阻流元件，沒有測量引起的壓力損失，盡管熱分布式TMF和帶有分流管的侵入式TMF有阻流部件，但壓力損失也很小。

2.它可以測量非常低的流量或小的流場，低壓氣體流，甚至真空分子流。

3.微小氣體流量計的儀表系數(shù)是隨氣體類型或混合氣體成分變化的流體，無法測量質(zhì)量熱容（比熱容）。由于氣體類型或成分的變化，恒壓比熱容JP和導(dǎo)熱系數(shù)發(fā)生變化，影響測量值。它不可用于可混流體或可能產(chǎn)生相變的流體。

4.可靠性高，無活動部件。

5.熱分布TMF用于接近理想氣體（如CO、N2和02）的雙原子氣體，可直接用空氣進行驗證。

6.在測量氣體流量時，通常以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量單位表示，介質(zhì)溫度/壓力的變化對測量值幾乎沒有影響。如果密度在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下是恒定的（即成分恒定），則其與質(zhì)量流量相似。

微小氣體流量計的發(fā)展可以追溯到20世紀(jì)初，但它只是熱傳導(dǎo)效應(yīng)原理的提出，尚未投入技術(shù)生產(chǎn)。直到20世紀(jì)80年代，一些發(fā)達國家才正式將熱傳導(dǎo)技術(shù)應(yīng)用于氣體質(zhì)量流量計的測量，但受微電子技術(shù)的限制，微小氣體流量計存在干擾強、響應(yīng)速度慢等缺點。因此，它僅適用于特殊的小流量監(jiān)測場合，尚未得到各行業(yè)的認(rèn)可。

進入21世紀(jì)后，隨著微電子技術(shù)和計算機技術(shù)的飛速發(fā)展，舊的微小氣體流量計的困境已經(jīng)消失，其精度、計算速度和抗干擾能力都有了很大的提高。這樣，微小氣體流量計技術(shù)得到了迅速發(fā)展。目前，國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量計的技術(shù)也在不斷完善，已廣泛應(yīng)用于石油、天然氣、化工、食品、環(huán)保、醫(yī)藥、輕工、電力、冶金等行業(yè)。